УДК 531.383-11:531.714.7

РЕЗУЛЬТАТЫ РАЗРАБОТКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА

B.Г.Пешехонов, Л.П.Несенюк, С.Г.Кучерков, М.И.Евстифеев, Я.А.Некрасов

(ЦНИИ "Электроприбор", С.-Петербург, Россия)

C. Ренар, П. Флюгер, К.Пицелла, Ж.Коллет

(Тгопics, Кролле, Франция)

Общепризнанная перспективность микромеханических инерциальных датчиков (гироскопов и акселерометров) для целого ряда приложений в гражданской и военной областях, а также отсутствие до настоящего времени их промышленного производства в России определили необходимость разработки в ЦНИИ "Электроприбор" микромеханического гироскопа (ММГ) класса 0,1 - 0,01 град/с, которая началась в 2001 году. В основу конструкции была положена принципиальная схема гироскопа RRтипа. Диск на упругом подвесе, оба из монокристаллического кремния, размещен в герметичном керамическом корпусе, обеспечивающем глубокий вакуум. Управление движением и определение углов поворота диска производится емкостными датчиками, замкнутыми на микроэлектронную систему управления и обработки сигналов. Микромеханический вакуумный кремниевый модуль, конструкция которого разработана в ЦНИИ "Электроприбор", изготавливается фирмой Tronics, имеющей опыт применения технологии "кремний на изоляторе" для производства микромеханических акселерометров. К настоящему времени изготовлена партия экспериментальных образцов ММГ, которые были испытаны с положительными результатами.

Представлены результаты разработки микромеханического гироскопа (ММГ) RR-типа. Дано описание конструкции, схемы управления и обработки сигналов, особенностей технологии изготовления. Приведены результаты первых испытаний.