МЕТОДЫ ПОВЫШЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЕЙ КАЧЕСТВА ТОЧНЫХ ПРИБОРОВ ПРИ ПРОЕКТИРОВАНИИ

*С.М. Латыев, **Р. Тезка *СПбГУ ИТМО, Россия, **ТУИ, Германия

Наиболее эффективно основные показатели качества приборов такие как точность, надежность и технологичность могут быть повышены в процессе проектирования. Отсюда следует необходимость изучения, исследования и развития методов повышения качества приборов и их подсистем.

Повысить качество точного прибора можно технологическим, проектноконструкторским или компенсационным методом (см. табл.). В данном докладе рассматриваются примеры на все три метода, однако большее внимание уделено случаям, когда удается найти новый физический принцип функционирования прибора и алгоритмической (цифровой) коррекции погрешностей, так как они позволяют существенно улучшить качество объекта проектирования.

Таблица

В частности, в разрабатываемой Техническим Университетом Ильменау трехкоординатной измерительной машине для достижения нанометровой точности измерений используется цифровая коррекция погрешностей, возникающих из-за несоблюдения принципа Аббе.

Естественно, что для применения цифровой коррекции необходим соответствующий алгоритм, который выводится аналитически, или получен на основании измерения компенсируемых погрешностей и влияющих факторов. При измерениях должны быть выполнены метрологические аспекты измерений, позволяющие достичь требуемой точности измерений, аппроксимации или гармонического анализа результатов.

В случаях, когда компенсация осуществляется в реальном масштабе времени её быстродействие должно быть соизмеримо со скоростью изменения погрешностей и влияющих факторов.