УДК 662.642:621.926.7

ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОТРАЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ МЕТОДАМИ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ

В.Л. Ткалич, З.Г. Симоненко, М.А. Коробейникова Санкт-Петербургский Государственный университет информационных

технологий, механики и оптики, Россия

В данной работе рассматриваются вопросы изучения состояния поляризации как в проходящем, так и в отраженном свете. В случае металлов преломленная волна практически поглощается в очень тонком поверхностном слое, тогда наиболее целесообразно использовать измерения в отраженном свете. Наоборот, при слабом отражении от диэлектриков основным методом исследования является эллипсометрия в проходящем свете. В тех случаях, когда возможны соответствующие измерения в отраженном и проходящем свете, эллипсометрия в отраженном свете удачно дополняет эллипсометрию в преломленном свете, и наоборот.

В данной работе требуется изучить характер изменения поляризации света в условиях полного внутреннего отражения, а именно, необходимо построить и проанализировать следующие зависимости:

• зависимость коэффициентов отражения перпендикулярной и параллельной составляющих падающей волны от угла падения;

• зависимость разности фаз перпендикулярной и параллельной составляющих отраженной волны от угла падения;

При падении света на границу раздела двух сред происходит его частичное преломление и отражение. Отражение света от поверхности диэлектрика описывается формулами Френеля. Амплитуды как преломленной, так и отраженной волны окажутся комплексными. Это означает, что между компонентами отраженной волны возникает разность фаз, приводящая к эллиптической поляризации отраженной волны.

Для построения зависимостей коэффициентов отражения, разности фаз от угла падения волны используются следующие исходные данные:

• показатель преломления среды распространения волны 1.0

• показатель преломления отражающей среды n₂= 1.44

Расчет зависимости коэффициентов отражения от угла падения волны, а также зависимости разности фаз составляющих отраженной волны был программно реализован на языке С++ средствами TurboC++3.0 и Bог1аndС++5.0.