МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА И МИКРОМЕХАТРОНИКА

Е.Н. Пятышев, М.С. Лурье, Ю.Д. Акульшин СПбГПУ, Россия

Микросистемная техника (МСТ) - направление науки и техники, целью которого является создание микросистем в заданном объеме твердого тела или на его поверхности. Характерные масштабы изделий лежат в пределах от единиц микрометров до единиц миллиметров. Микросистемы обеспечивают генерацию, преобразование и передачу энергии совместно с процессами восприятия, обработки, передачи и хранения информации. Групповые методы обеспечивают массовые тиражи и низкую стоимость единичного изделия. К настоящему времени ряд изделий МСТ выпускается многомиллионными тиражами. Микросистемы развиваются на стыке многих отраслей науки и техники, что требует участия в работах специалистов разных областей знания. Одной из наиболее важных и трудно решаемых задач является проблема научно-технических связей между специалистами различных областей знаний, обусловленная междисциплинарностью нового направления.

Мехатроника (МТ), согласно работе [1], является продуктом машиностроения, в частности станкостроения. МТ - это область науки и техники, обеспечивающая создание и эксплуатацию машин и систем с компьютерным управлением движением, которая базируется на знаниях в области механики, электроники и микропроцессорной техники, информатики и компьютерного управления движением машин и агрегатов.

МСТ и ММТ тесно связаны как в области элементной базы, так и в части общего пути развития: подхода к проектированию разнородных элементов объекта, технологий производства, материаловедческой базы, генерации и преобразования энергии и информации.

Микромехатроника (ММТ) может быть определена как область на стыке МСТ и ММТ, отвечающая за интеграцию объекта или части его в микроустройстве (например, микроробот), комплексированном устройстве или на монокристалле (специализированный датчик или активатор) [2].

ЛИТЕРАТУРА

1. Шалобаев Е.В. Микросистемная техника и мехатроника: особенности соотношения микро- и макроуровней // Микросистемная техника. 2000 . N 4. - С. 5-9.

2. The Journal of Micromechatronics // Volume 1-2.